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日本富士FUJI超聲波濃度計*超聲波在液體中非常易于傳播。超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
實時信號輸出，可以用于在線過程控制
可以和顯示器，記錄儀，電腦連接。
同時也不會對溶液造成污染，易于維護。
日本富士FUJI超聲波濃度計*
超聲波液體濃度計 單成分用
半導體制造程序選件
FUD-1 Model-12/1006
測量原理
超聲波在液體中非常易于傳播。
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
「濃度變化」→ 「密度變化」→「音速變化」
本產品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度。
測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示
構成図
FUD-1 Model-12
用途
CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H2O2的濃度測量
洗凈液濃度測量（（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等）
稀釋裝置濃度測量（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等）
蝕刻過程中的濃度測量（HF、H2SO4 等）
特長
可根據檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度。
發信器小型、輕量，可直接在線裝置。
免保養設計。
接液部分全部采用（PFA)材料。
小型輸出設計，對藥液沒有影響。
主要參數
形號
FUD-1 Model-12／Model-1006
測定參數
超聲波傳播速度、溫度
表示
LCD（濃度、溫度、音速/各種參數）
輸出信號
模擬 DC4～20mA（可對應濃度值自由設定）
數字 RS232C（濃度、溫度、音速。錯誤代碼）
警報 上?上上?下?下下限 測量異常
電源
AC100V～240V 50/60Hz
構造
配電盤支架型（DIN規格基準）?盤內設置型（根據選件可做防雨型）
周邊溫度
0～50℃ RH85%以下（不結冰時）
0～100℃ 特別規格 -10～160℃（100℃幅）
功能
輸出范圍設定、輸出警報設定、濃度表示移動平均、濃度表示偏移數據以及增值設定功能、自我診斷功能、安全裝置功能、取消異常值
選件
溫度輸出（DC4～20mA）
波道
大10ch
適合發信器
Model-12：SA-20S7／SA-20S9／SA-20M5
Model-1006：SA-20S9
如有需求，請見： 日本富士FUJI超聲波濃度計
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