東京計(jì)裝氣體質(zhì)量流量計(jì)

東京計(jì)裝 Tokyo Keiso NM?2000

產(chǎn)品定位

原理：熱傳導(dǎo)式質(zhì)量流量原理，直接測(cè)標(biāo)況質(zhì)量流量，無(wú)需溫壓補(bǔ)償，內(nèi)置電磁閥 / 比例閥實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)調(diào)節(jié)。

一、量程范圍（標(biāo)況 mL/min (Nor) / L/min (Nor)）

二、核心技術(shù)參數(shù)

精度與線性

• 精度：±1.0%FS

• 重復(fù)性：±0.2% FS

• 量程比：50:1

• 標(biāo)定：5 點(diǎn)線性校準(zhǔn)（數(shù)字機(jī)型標(biāo)配）

流體條件

• 適用介質(zhì)：N?、Ar、He、O?、壓縮空氣、H?等潔凈干燥工藝氣體

• 介質(zhì)溫度：5～45℃

• 環(huán)境溫度：5～45℃

• 入口壓力：0.05～0.5 MPa (G)（參考，依量程）

• 耐壓：最高 0.6 MPa（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型）

• 禁止：含油、粉塵、水汽、腐蝕性氣體

電氣與信號(hào)（NM?2000 數(shù)字型）

• 供電：DC24V

• 設(shè)定信號(hào)：0～5V / 0～10V（外部給定流量設(shè)定點(diǎn)）

• 流量輸出：0～5V / 4～20mA

• 通訊：RS485（專用 CMS 協(xié)議，可選定制 Modbus）

• 功能：在線零點(diǎn)校準(zhǔn)、自診斷、溫度補(bǔ)償、流量累積、故障報(bào)警

• 響應(yīng)時(shí)間：＜2 秒

接液材質(zhì)

東京計(jì)裝氣體質(zhì)量流量計(jì)

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體、光伏設(shè)備工藝吹掃氣、載氣控制

2. 真空鍍膜、PVD/CVD 氣體配比

3. 熱處理、氣氛爐氮?dú)?/ 氬氣保護(hù)氣氛控制

4. 實(shí)驗(yàn)室氣體配比、煙氣標(biāo)定、分析儀供氣

五、安裝與保養(yǎng)要點(diǎn)（原廠規(guī)范）

1. 前置必須過(guò)濾器（2μm 以上），防止粉塵污染傳感探頭；

2. 建議水平安裝，避免冷凝液接觸傳感器；氣流方向嚴(yán)格遵循本體箭頭；

3. 每年一次零點(diǎn)校準(zhǔn)；更換氣體種類必須重新標(biāo)定；

4. 嚴(yán)禁液體倒流進(jìn)入 MFC，極易造成傳感器損壞；

5. 長(zhǎng)期停機(jī)保持干燥惰性氣體吹掃封存。

六、區(qū)分易混淆型號(hào)（很多人弄混）

• NM?2000：MFC 質(zhì)量流量控制器（帶閥門，可控流量）

• TF?2000N：小型熱式質(zhì)量流量計(jì)（只測(cè)流量，無(wú)控制閥）

• SRT1000：管道 / 插入式大管徑熱式流量計(jì)（工業(yè)大管路）

• NMX2000：金屬管轉(zhuǎn)子流量計(jì)（浮子式，不同產(chǎn)品）